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***l小检测浓度

色谱检测器***l小检测浓度取决于，一是检测器的敏感度。敏感度愈高检测器检测的杂质浓度愈低；二是色谱峰的峰宽愈小（柱效愈高），检测杂质气浓度愈低。具体对于***l小的峰峰高必须是噪声的两倍信号。任何色谱仪检测器的***l小检测值就是***l小检测浓度。仪器操作者都应知道，低于此浓度的值（没有出峰）不应是“0”，而应是小于***l小检测浓度值。理论上也认为只能接近于“0”,而不能等于“0”。8之间***为适宜，过酸则用草木灰或石灰水调节，过碱则应加大新鲜料液的投入量。对于连续监测的数字显示仪所显示的“0”也应这样看，因为显示不能表示出小于它***l小检测浓度的值来。因而所有仪器在检测杂质时，如果未能测出含量，则给报告中，该组分含量就应写出小于***l小检出浓度值，而不能写“0”。

高纯度气体的管道输送，将高纯气体送至用气点，并保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不仅要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米技术进入亚微米、深亚微米（小于O.35g.m）技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格，10 （ppm级）已经不能达到要求，需要达到10 （ppb级），甚至10一~2（ppt级），尘埃粒径要求控制到0.05-0。无机高纯气体1、空气（Air）、氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、***气（Ar）、氦气（He）、***气（Ne）、***气（Kr）、氙气（Xe）等。Olla,m。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。

7.内表面处理

为了进一步改善管道材料特性，对管道内表面进行处理，一般有三种方法：酸洗钝化（AP），光亮退火（BA）和电解抛光（EP）处理。试验资料和实践都证明，通过表面处理后。管道材料的粗糙度减小。出气速率降低。表面吸附性减弱。

8.管道材料及连接

纯度在99.99％以内的气体管道，采用10#或20#无缝钢管（内表面镀锌或纯化处理）、铜管。镀锌管道采用螺纹连接。总杂质含量≤10—100ppm的气体管道，采用304不锈钢光亮退火管（304BA）、304不锈钢管纯化处理（304AP）、紫铜管。管道采用焊接连接，可以采用对接焊、承插焊或套管焊接。总杂质含量≤1-1oppm的气体管道，采用316L不锈钢光亮退火管（316LBA）、316L不锈钢电抛光管（304EP）。在玻璃制造的高温加工过程及电子微芯片的制造中，在氮气保护气中加入氢以去除残余的氧。管道连接采用焊接， 内壁无瘢痕的对接焊，高纯***气保护焊。总杂质含量≤lppm的高纯气体管道，必须采用316L不锈钢电抛光管（3l6LEP）。管道连接采用焊接，内壁无瘢痕的对接焊，高纯***气保护焊，在专用的洁净室内进行。